節省能源除了環保，還是相當實際的成本考量。物聯網 (IoT) 除了有助自動化管理之外，亦可以透過改善生產線運作達到節能效果。台積電最近就引入新的 IoT 智能節能系統，大幅減低能源成本。
台積電表示，他們與應用材料和附屬設備供應商合作，引入的「iSystem 物聯網智慧節能控制系統」，目前已經在晶圓十五 B 廠 80 種製程、588 部生產機台所屬的 2351 部真空泵和 805 部現址式尾氣處理系統中使用。這個系統據稱是 2015 年開始開發，主要作用是更有效管理生產機台所使用的製程氣體，實時自動調節運轉參數和能耗，達到節能效果。
引入這個系統之後，台積電已經達到每年省電 1340 萬度，並減少 1.38 萬噸碳排放量。未來他們將會繼續在晶圓十五 B 廠進行應用開發和導入系統，並在晶圓十八廠開始導入，逐步推展至全臺灣的十二吋晶圓廠，目標每年可節省近 2 千萬美元的電力開支。
來源：鉅亨
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